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石墨舟的主要特点

2023-09-11

石墨舟的主要特点:

1.PECVD拖板可以倾斜15度或者内部旋转180度;

2.净化风机噪音小于50dB。

3.确保工作区域的清洁度达到工艺要求的100级。  

4.石墨舟能准确定位装载和装车;

5.采用不锈钢制造,整机结构牢固可靠;

6.采用三台GK系列高效空气过滤器;

石墨舟

石墨舟的工作原理:

空气经高效过滤后,阻尼层均衡压力,使洁净气流垂直单向送入晶圆装载工作区,保证工作区的洁净度满足工艺要求。操作员在干净的环境中将硅晶片装载到石墨舟上。

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